Fotoreziszt áttekintése
A fotoreziszt, más néven fotoreziszt, egy vékony filmrétegű anyag, amelynek oldhatósága megváltozik UV-fény, elektronnyalábok, ionnyalábok, röntgensugarak vagy más sugárzás hatására.
Gyantából, fotoiniciátorból, oldószerből, monomerből és egyéb adalékanyagokból áll (lásd az 1. táblázatot). A fotoreziszt gyanta és a fotoiniciátor a legfontosabb összetevők, amelyek befolyásolják a fotoreziszt teljesítményét. Korróziógátló bevonatként használják a fotolitográfiai eljárás során.
Félvezető felületek feldolgozásakor megfelelően szelektív fotoreziszt alkalmazásával létrehozható a kívánt kép a felületen.
1. táblázat.
| Fotoreziszt összetevők | Teljesítmény |
| Oldószer | Folyékonysá és illékonysá teszi a fotorezisztet, és szinte semmilyen hatással nincs a fotoreziszt kémiai tulajdonságaira. |
| Fotoiniciátor | Fotoszenzibilizátorként vagy fotokeményítőként is ismert, a fotoreziszt anyagok fényérzékeny komponense. Olyan vegyület, amely szabad gyökökké vagy kationokká bomlik le, és kémiai térhálósodási reakciókat indíthat el a monomerekben, miután bizonyos hullámhosszúságú ultraibolya vagy látható fényenergiát elnyel. |
| Gyanta | Inert polimerekről van szó, és kötőanyagként működik, hogy a fotorezisztben lévő különböző anyagokat összetartsa, megadva a fotorezisztnek a mechanikai és kémiai tulajdonságait. |
| Monomer | Aktív hígítószerként is ismertek, polimerizálható funkciós csoportokat tartalmazó kis molekulák, és kis molekulatömegű vegyületek, amelyek részt vehetnek polimerizációs reakciókban nagy molekulatömegű gyanták képződése céljából. |
| Adalékanyag | A fotorezisztek specifikus kémiai tulajdonságainak szabályozására szolgál. |
A fotoreziszteket a képalkotásuk alapján két fő kategóriába sorolják: pozitív és negatív. A fotoreziszt eljárás során, az expozíció és az előhívás után, a bevonat exponált részei feloldódnak, így a nem exponált részek maradnak. Ezt a bevonatot pozitív fotorezisztnek tekintik. Ha az exponált részek megmaradnak, míg a nem exponált részek feloldódnak, a bevonatot negatív fotorezisztnek tekintik. Az expozíciós fényforrástól és a sugárforrástól függően a fotoreziszteket tovább osztályozzák UV (beleértve a pozitív és negatív UV fotoreziszteket), mély UV (DUV) fotorezisztek, röntgenfotorezisztek, elektronsugaras fotorezisztek és ionsugaras fotorezisztek formájában.
A fotorezisztet elsősorban kijelzőpanelek, integrált áramkörök és diszkrét félvezető eszközök finomszemcsés mintázatainak feldolgozására használják. A fotoreziszt mögött álló gyártástechnológia összetett, a terméktípusok és specifikációk széles skálájával. Az elektronikai ipar integrált áramköri gyártása szigorú követelményeket támaszt a használt fotoreziszttel szemben.
Az Ever Ray, egy 20 éves tapasztalattal rendelkező gyártó, amely a fényre keményedő gyanták gyártására és fejlesztésére specializálódott, évi 20 000 tonna termelési kapacitással, átfogó termékkínálattal és a termékek testreszabásának lehetőségével büszkélkedhet. A fotoreziszt esetében az Ever Ray fő összetevője a 17501-es gyanta.
